СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники
|
|
| Creator |
Пятайкина, М .И.
Гордиенко, Ю. Е. Полищук, А. В. |
|
| Subject |
высоколокальный СВЧ нагрев
модификация тонкопленочная структура СВЧ микромодификатор температурная зависимость |
|
| Description |
В статье представлены результаты численного исследования высоколокального СВЧ разогрева тонких пленок полупроводников и диэлектриков на высокоомной подложке кремния. Сравнение с ранее опубликованными нами результатами исследования разогрева кремниевых подложек показывает, что в связи с высокой теплопроводностью кремния влияние подложки на величину температуры разогреваемой пленки будет существенным при уменьшении толщины пленки. Влияние диэлектрической проницаемости пленки также имеет место и связано с изменением СВЧ тепловыделения в ней. С учетом зависимости локализации СВЧ поля от радиуса сферического острия процесс тепловыделения можно локализовать только в пленке, а величиной локального разогрева подложки управлять выбранной толщиной пленки. Это позволит раздельно формировать локальный разогрев пленки и подложки.
|
|
| Date |
2019-05-31T12:22:37Z
2019-05-31T12:22:37Z 2015 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Гордиенко Ю. Е. СВЧ высоколокальный сканирующий разогрев в технологии микро- и наноэлектроники / Ю. Е. Гордиенко, М. И. Пятайкина, А. В. Полищук // Физическая инженерия поверхности. – 2015. – т. 13, №2. – С. 209-217.
http://openarchive.nure.ua/handle/document/9075 |
|
| Language |
ru
|
|