Modeling MEMS membranes characteristics
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Modeling MEMS membranes characteristics
|
|
| Creator |
Nevliudov, Igor
Bortnikova, Viktoriia Chala, Olena Maksymova, Svitlana |
|
| Contributor |
Kharkiv National University of Radio Electronics
|
|
| Date |
2019-06-24T14:06:58Z
2019-06-24T14:06:58Z 2018-10-19 2018-10-19 |
|
| Type |
Conference Abstract
|
|
| Identifier |
Modeling MEMS membranes characteristics / Igor Nevliudov, Viktoriia Bortnikova, Olena Chala, Svitlana Maksymova // САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 19-20 жовтня 2018 року, Львів. — Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2018. — С. 61–68.
978-966-941-229-4 http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/45219 Modeling MEMS membranes characteristics / Igor Nevliudov, Viktoriia Bortnikova, Olena Chala, Svitlana Maksymova // SAPR u proektuvanni mashyn. Zadachi vprovadzhennia ta navchannia : materialy XXVI Mizhnarodnoi ukrainsko-polskoi naukovo-tekhnichnoi konferentsii, 19-20 zhovtnia 2018 roku, Lviv. — Lviv : Vydavnytstvo Lvivskoi politekhniky, 2018. — P. 61–68. |
|
| Language |
en
|
|
| Relation |
САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 2018
http://iopscience.iop.org/book/978-0-7503-1545-6/chapter/bk978-0-7503-1545-6ch1#back-to-top-target [1] J. Iannacci, Introduction to MEMS and RF-MEMS: From the early days of microsystems to modern RF-MEMS passives. iopscience.iop.org, 2017. Available at: http://iopscience.iop.org/book/978-0-7503-1545-6/chapter/bk978-0-7503-1545-6ch1#back-to-top-target (accessed 5 February 2017). [2] L.V. Belov, Perekljuchateli sverhvysokochastotnyh signalov. Moskva:Tehnosphera, 2007, p. 20-25 [3] A.A. Bennet, "Newton's method in general analysis" in Proc. Nat. Ac. Sci. USA. 2 (10), 1916, pp. 592-598. [4] C.L. Dai, H.M. Hsu, M.C. Tsai, M.M. Hsieh, M.W. Chang, "Modeling and fabrication of a microelectromechanical microwave switch" in Microelectron. pp. 519-524, 2007. [5] Muldavin J.B., Rebeiz G.M. "High isolation CPW MEMS shunt switches, Part 2" in Design, IEEE Trans. Microwave Theory Tech, 2000,pp. 1053-1056. [6] V. K. Varadan, K.J. Vinoy, K.A. Jose "RF MEMS and Their Applications" Pennsylvania State University, USA, p. 408, 2003. [7]. Dalsjø, Per Gisle. Modeling of a resisitive contact RF-MEMS switch fabricated using DRIE. Masteroppgave, University of Oslo, 2006. [8] A.I. Belous, M.K. Merdanov, S.V. Shvedov SVCh-jelektronika v sistemah radiolokacii i svjazi. Tehnicheskaja jenciklopedija. Kniga 2 Moskva:Tehnosphera, 2016, p. 728. [9] J.N. Goodier, S. P. Timoshenko, Theory of Elasticity. McGraw-Hill Education, 1970, p. 608. [10] I. Nevliudov, V. Bortnikova, M. Fedchishina, "Udoskonalennja harakterystyk serpantynnoi" MEMS membrany vysokochastotnogo peremykacha" in I Int. Conf. Manufacturing & Mechatronic systems, Kharkiv, Ukrain, Oct.2017, pp. 35-39. [11] YU. V. Solov'yev, V. V. Volkov, S. Ye. Aleksandpov, A. B. Speshilova MEMS-pereklyuchatel' rezistivno-yemkostnogo tipa. Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, Moskva, Nauka, 2007. [12] K. Nam-Ho, Introduction to Nonlinear Finite Element Analysis Springer, 2014. [13] I. Nevliudov, V. Bortnikova, N. Demska "Чисельне моделювання МЕМС мембрани за допомогою метода Ньютона-Рафсона" in V Mizhnarodna naukovo-praktychna konferencija Napivprovidnykovi materialy, informacijni tehnologii' ta fotovol'tai'ka, Kremenchuk, Ukraine, May, 2018, pp. 119-121. [1] J. Iannacci, Introduction to MEMS and RF-MEMS: From the early days of microsystems to modern RF-MEMS passives. iopscience.iop.org, 2017. Available at: http://iopscience.iop.org/book/978-0-7503-1545-6/chapter/bk978-0-7503-1545-6ch1#back-to-top-target (accessed 5 February 2017). [2] L.V. Belov, Perekljuchateli sverhvysokochastotnyh signalov. Moskva:Tehnosphera, 2007, p. 20-25 [3] A.A. Bennet, "Newton's method in general analysis" in Proc. Nat. Ac. Sci. USA. 2 (10), 1916, pp. 592-598. [4] C.L. Dai, H.M. Hsu, M.C. Tsai, M.M. Hsieh, M.W. Chang, "Modeling and fabrication of a microelectromechanical microwave switch" in Microelectron. pp. 519-524, 2007. [5] Muldavin J.B., Rebeiz G.M. "High isolation CPW MEMS shunt switches, Part 2" in Design, IEEE Trans. Microwave Theory Tech, 2000,pp. 1053-1056. [6] V. K. Varadan, K.J. Vinoy, K.A. Jose "RF MEMS and Their Applications" Pennsylvania State University, USA, p. 408, 2003. [7]. Dalsjø, Per Gisle. Modeling of a resisitive contact RF-MEMS switch fabricated using DRIE. Masteroppgave, University of Oslo, 2006. [8] A.I. Belous, M.K. Merdanov, S.V. Shvedov SVCh-jelektronika v sistemah radiolokacii i svjazi. Tehnicheskaja jenciklopedija. Kniga 2 Moskva:Tehnosphera, 2016, p. 728. [9] J.N. Goodier, S. P. Timoshenko, Theory of Elasticity. McGraw-Hill Education, 1970, p. 608. [10] I. Nevliudov, V. Bortnikova, M. Fedchishina, "Udoskonalennja harakterystyk serpantynnoi" MEMS membrany vysokochastotnogo peremykacha" in I Int. Conf. Manufacturing & Mechatronic systems, Kharkiv, Ukrain, Oct.2017, pp. 35-39. [11] YU. V. Solov'yev, V. V. Volkov, S. Ye. Aleksandpov, A. B. Speshilova MEMS-pereklyuchatel' rezistivno-yemkostnogo tipa. Nano- i mikrosistemnaya tekhnika, Moskva, Nauka, 2007. [12] K. Nam-Ho, Introduction to Nonlinear Finite Element Analysis Springer, 2014. [13] I. Nevliudov, V. Bortnikova, N. Demska "Chiselne modeliuvannia MEMS membrani za dopomohoiu metoda Niutona-Rafsona" in V Mizhnarodna naukovo-praktychna konferencija Napivprovidnykovi materialy, informacijni tehnologii' ta fotovol'tai'ka, Kremenchuk, Ukraine, May, 2018, pp. 119-121. |
|
| Rights |
© Національний університет «Львівська політехніка», 2018
|
|
| Format |
61-68
8 application/pdf image/png |
|
| Coverage |
19-20 жовтня 2018 року, Львів
Львів |
|
| Publisher |
Видавництво Львівської політехніки
|
|