Electrical model of vibratory micro angular velocity sensor
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Electrical model of vibratory micro angular velocity sensor
|
|
| Creator |
Nazdrowicz, Jacek
Jankowski, Mariusz |
|
| Contributor |
Lodz University of Technology
|
|
| Date |
2019-06-24T14:07:02Z
2019-06-24T14:07:02Z 2018-10-19 2018-10-19 |
|
| Type |
Conference Abstract
|
|
| Identifier |
Nazdrowicz J. Electrical model of vibratory micro angular velocity sensor / Jacek Nazdrowicz, Mariusz Jankowski // САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 19-20 жовтня 2018 року, Львів. — Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2018. — С. 95–104.
978-966-941-229-4 http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/45225 Nazdrowicz J. Electrical model of vibratory micro angular velocity sensor / Jacek Nazdrowicz, Mariusz Jankowski // SAPR u proektuvanni mashyn. Zadachi vprovadzhennia ta navchannia : materialy XXVI Mizhnarodnoi ukrainsko-polskoi naukovo-tekhnichnoi konferentsii, 19-20 zhovtnia 2018 roku, Lviv. — Lviv : Vydavnytstvo Lvivskoi politekhniky, 2018. — P. 95–104. |
|
| Language |
en
|
|
| Relation |
САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 2018
http://blog.ncue.edu.tw/sys/lib/read_attach.php?id=17430 https://ieeexplore.ieee.org/document/4433802/ [1] Y. Zhang, X. Liu, W. Chen. “System-Level Modeling and Simulation of Force-Balance MEMS Accelerometers”. Journal of Semiconductors,5.Vol(29), 2008. pp. 917-922. [2] G. L. Teodor, “The Matlab/Simulink modeling and numerical simulation of an analogue capacitive micro-accelerometer. Part 1: Closed loop”, MEMSTECH, 2008. pp. 115-121. [3] B. Homeijer, D. Lazaroff, D. Milligan, R. Alley, J. Wu, M. Szepesi, B. Bicknell, Z. Zhang, R. G. Walmsley, and P. G. Hartwell, “Hewlett packard’s seismic grade MEMS accelerometer, ” in Proc. MEMS 2011,pp. 585-588. [4] B. E. Boser, R. T. Howe, Surface Micromachined Accelerometers, IEEE J. Solid-State Circuits, vol. SC-31, March 1996, pp. 366–375. [5] Steven Nasiri. A Critical Review of MEMS Gyroscopes Technology and Сommercialization Status. Inven Sense, 2003. http://blog.ncue.edu.tw/sys/lib/read_attach.php?id=17430. [6] M. Jankowski, P. Zajac, Andrzej Napieralski, Fully differential read-out circuitry components for MEMS-based accelerometers, IEEE Conference Proceedings of XIV-th International Conference Perspective technologies and methods in MEMS design, Polyana, UKRAINE, 18-22 April 2018, pp. 86-90. [7] C. Maj, A. Napieralski, “Mechanical simulation of 3-axis accelerometer using a single proof-mass”, 2017 XIIIth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2017, pp. 47–50. [8] C. Maj, P. Amrozik, W. Zabierowski: “Meshing of symmetric structures in example of comb-drive accelerometer”. 2018 XIV-th International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2018, pp: 151-154. [9] Ramyar Rashed and H. Momeni, System Modeling of MEMS Gyroscopes, Procedings of the 15th Midterranean Conference on Control & Automation, July 27-29, 2007, Athens – Greece, https://ieeexplore.ieee.org/document/4433802/. [1] Y. Zhang, X. Liu, W. Chen. "System-Level Modeling and Simulation of Force-Balance MEMS Accelerometers". Journal of Semiconductors,5.Vol(29), 2008. pp. 917-922. [2] G. L. Teodor, "The Matlab/Simulink modeling and numerical simulation of an analogue capacitive micro-accelerometer. Part 1: Closed loop", MEMSTECH, 2008. pp. 115-121. [3] B. Homeijer, D. Lazaroff, D. Milligan, R. Alley, J. Wu, M. Szepesi, B. Bicknell, Z. Zhang, R. G. Walmsley, and P. G. Hartwell, "Hewlett packard’s seismic grade MEMS accelerometer, " in Proc. MEMS 2011,pp. 585-588. [4] B. E. Boser, R. T. Howe, Surface Micromachined Accelerometers, IEEE J. Solid-State Circuits, vol. SC-31, March 1996, pp. 366–375. [5] Steven Nasiri. A Critical Review of MEMS Gyroscopes Technology and Sommercialization Status. Inven Sense, 2003. http://blog.ncue.edu.tw/sys/lib/read_attach.php?id=17430. [6] M. Jankowski, P. Zajac, Andrzej Napieralski, Fully differential read-out circuitry components for MEMS-based accelerometers, IEEE Conference Proceedings of XIV-th International Conference Perspective technologies and methods in MEMS design, Polyana, UKRAINE, 18-22 April 2018, pp. 86-90. [7] C. Maj, A. Napieralski, "Mechanical simulation of 3-axis accelerometer using a single proof-mass", 2017 XIIIth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2017, pp. 47–50. [8] C. Maj, P. Amrozik, W. Zabierowski: "Meshing of symmetric structures in example of comb-drive accelerometer". 2018 XIV-th International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2018, pp: 151-154. [9] Ramyar Rashed and H. Momeni, System Modeling of MEMS Gyroscopes, Procedings of the 15th Midterranean Conference on Control & Automation, July 27-29, 2007, Athens – Greece, https://ieeexplore.ieee.org/document/4433802/. |
|
| Rights |
© Національний університет «Львівська політехніка», 2018
|
|
| Format |
95-104
10 application/pdf image/png |
|
| Coverage |
19-20 жовтня 2018 року, Львів
Львів |
|
| Publisher |
Видавництво Львівської політехніки
|
|