Designing of Z-axis comb-drive MEMS accelerometer
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Designing of Z-axis comb-drive MEMS accelerometer
|
|
| Creator |
Maj, Cezary
Szermer, Michał |
|
| Contributor |
Lodz University of Technology
|
|
| Date |
2019-06-24T14:06:56Z
2019-06-24T14:06:56Z 2018-10-19 2018-10-19 |
|
| Type |
Conference Abstract
|
|
| Identifier |
Maj C. Designing of Z-axis comb-drive MEMS accelerometer / Cezary Maj, Michał Szermer // САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 19-20 жовтня 2018 року, Львів. — Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2018. — С. 48–56.
978-966-941-229-4 http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/45217 Maj C. Designing of Z-axis comb-drive MEMS accelerometer / Cezary Maj, Michał Szermer // SAPR u proektuvanni mashyn. Zadachi vprovadzhennia ta navchannia : materialy XXVI Mizhnarodnoi ukrainsko-polskoi naukovo-tekhnichnoi konferentsii, 19-20 zhovtnia 2018 roku, Lviv. — Lviv : Vydavnytstvo Lvivskoi politekhniky, 2018. — P. 48–56. |
|
| Language |
en
|
|
| Relation |
САПР у проектуванні машин. Задачі впровадження та навчання : матеріали XXVI Міжнародної українсько-польської науково-технічної конференції, 2018
https://www.xfab.com/mems0/technology-innovation/open-platformprocesses/inertial-sensors/ [1] J. Korvink, O. Paul, “MEMS: A Practical Guide of Design, Analysis, and Applications”, Springer Berlin Heidelberg, 2006 [2] M. Szermer, J. Nazdrowicz, W. Zabierowski, „FEM Analysis of a 3D Model of a Capacitive Surface-micromachined Accelerometer 2017”, 14th International Conference The Experience of Designing and Application of CAD Systems in Microelectronics (CADSM), 21-25 February 2017 Polyana-Svalyava (Zakarpattya), Ukraine [3] Nazdrowicz J, “SIMULINK and COMSOL Software Application for MEMS Accelerometer Modeling and Simulation”, in Proc. International Conference MIXDES, Bydgoszcz, Poland, pp. 429-434, June 22-24, 2017S [4] M. Szermer, P. Zając, Ł. Starzak, “Influence of Geometry scaling on Comb-drive Accelerometer Performance”, In Proc. of XIVth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2018, April 18-22, 2018, Polyana- Svalyava, Ukraine [5] M. Jankowski, P. Zajac, Andrzej Napieralski, Fully differential read-out circuitry components for MEMS-based accelerometers, IEEE Conference Proceedings of XIV-th International Conference Perspective technologies and methods in MEMS design, Polyana, UKRAINE, 18-22 April 2018, pp. 86‐90. [6] W. Young, R. Budynas, A. Sadegh, “Roark's Formulas for Stress and Strain”, 7th edition, McGraw-Hill, 2002 [7] https://www.xfab.com/mems0/technology-innovation/open-platformprocesses/inertial-sensors/ [1] J. Korvink, O. Paul, "MEMS: A Practical Guide of Design, Analysis, and Applications", Springer Berlin Heidelberg, 2006 [2] M. Szermer, J. Nazdrowicz, W. Zabierowski, "FEM Analysis of a 3D Model of a Capacitive Surface-micromachined Accelerometer 2017", 14th International Conference The Experience of Designing and Application of CAD Systems in Microelectronics (CADSM), 21-25 February 2017 Polyana-Svalyava (Zakarpattya), Ukraine [3] Nazdrowicz J, "SIMULINK and COMSOL Software Application for MEMS Accelerometer Modeling and Simulation", in Proc. International Conference MIXDES, Bydgoszcz, Poland, pp. 429-434, June 22-24, 2017S [4] M. Szermer, P. Zając, Ł. Starzak, "Influence of Geometry scaling on Comb-drive Accelerometer Performance", In Proc. of XIVth International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH), 2018, April 18-22, 2018, Polyana- Svalyava, Ukraine [5] M. Jankowski, P. Zajac, Andrzej Napieralski, Fully differential read-out circuitry components for MEMS-based accelerometers, IEEE Conference Proceedings of XIV-th International Conference Perspective technologies and methods in MEMS design, Polyana, UKRAINE, 18-22 April 2018, pp. 86‐90. [6] W. Young, R. Budynas, A. Sadegh, "Roark's Formulas for Stress and Strain", 7th edition, McGraw-Hill, 2002 [7] https://www.xfab.com/mems0/technology-innovation/open-platformprocesses/inertial-sensors/ |
|
| Rights |
© Національний університет «Львівська політехніка», 2018
|
|
| Format |
48-56
9 application/pdf image/png |
|
| Coverage |
19-20 жовтня 2018 року, Львів
Львів |
|
| Publisher |
Видавництво Львівської політехніки
|
|