Мікросистемна техніка та нанотехнології
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Мікросистемна техніка та нанотехнології
|
|
| Creator |
Невлюдов, І. Ш.
Палагін, В. А. |
|
| Description |
Викладено принципи створення МЕМС на основі теорії подібностей, розмірностей фізичних величин, електромеханічних аналогій та конвергенції різних фізико-хімічних феноменів, відомості про технології їх виробництва, що дозволяють на єдиній кремнієвій підкладці виготовити мікромеханічні вузли та деталі, а також електронні системи обробки інформації та системи керування. Розглянуто масштабні та квантово-механічні ефекти, що проявляються в мікронному та нанорозмірному діапазонах і забезпечують поліпшення електрофізичних та експлуатаційних характеристик виробів; можливості створення нових матеріалів із формуванням їхніх властивостей на атомно-молекулярному рівні, у тому числі інтелектуальних матеріалів; математичні моделі для проектування чутливих елементів датчиків, балок, мембран, зустрічно-штирьових резонансних систем та ін. Наведені відомості про конструктивні та технологічні рішення формування та самоскладання наноструктур, про інструментальні методи вивчення нанооб'єктів, технологічне обладнання, що використовується у виробництві. Для фахівців промисловості, пов'язаних з розробкою, виробництвом та експлуатацією нової техніки. Може бути корисним магістрантам, аспірантам, а також студентам вишів. |
|
| Date |
2019-07-05T10:42:18Z
2019-07-05T10:42:18Z 2016 |
|
| Type |
Book
|
|
| Identifier |
Невлюдов І.Ш. Мікросистемна техніка та нанотехнології: Монографія / І.Ш. Невлюдов, В.А. Палагін. – Киев, НАУ 2017. – 528 c.
http://openarchive.nure.ua/handle/document/9555 |
|
| Language |
uk
|
|
| Publisher |
НАУ
|
|