Inelastic-elastic properties of SiO2, SiO2 + TiO2 + ZrO2
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Inelastic-elastic properties of SiO2, SiO2 + TiO2 + ZrO2
|
|
| Creator |
Onanko, A. P.
Kulish, M. P. Lyashenko, O. V. Prodayvoda, G. T. Vyzhva, S. A. Onanko, Y. A. |
|
| Subject |
elastic module
internal friction structure defects dislocations microstructure |
|
| Description |
A non-destructive method for the technological control of the structure defects in SiO2 + Si wafers by measuring the internal friction background difference on the nearby harmonics f1 and f2 after mechanical and heat treatments.
|
|
| Date |
2012-10-11T08:00:08Z
2012-10-11T08:00:08Z 2012 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Onanko A. P. Inelastic-elastic properties of SiO2, SiO2 + TiO2 + ZrO2 / A. P. Onanko, M. P. Kulish, O. V. Lyashenko, G. T. Prodayvoda, S. A. Vyzhva, Y. A. Onanko // Оксидні матеріали електронної техніки – отримання, властивості, застосування (ОМЕЕ – 2012) : збірник матеріалів міжнародної наукової конференції, 3-7 вересня 2012 року, Львів, Україна / Міністерство освіти і науки, молоді та спорту України, Національний університет “Львівська політехніка”. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2012. – С. 81-82. – Паралельний титульний аркуш англійською. – Bibliography: 6 titles.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/15174 |
|
| Language |
en
|
|
| Publisher |
Національний університет "Львівська політехніка"
|
|