Закономірності формування включень нових фаз на різних стадіях реактивної дифузії в тонкоплівкових наноструктурах
DSpace at NTB NTUU KPI
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Закономірності формування включень нових фаз на різних стадіях реактивної дифузії в тонкоплівкових наноструктурах
|
|
| Subject |
плівки
масоперенос реакційна дифузія нанокристлічні структури фазовий склад концентрація комп'ютерне моделювання |
|
| Description |
Об’єкти дослідження – тонкоплівкові системи з шарами Cu, Cr, Fe, Ni, Ti на-нометрової (5 – 100 нм) товщини. Мета роботи експериментальне дослідження та комп’ютерне моделювання процесів термостимульованої реактивної дифузії при формуванні включень нових фаз в багатошарових тонкоплівкових наноструктурах. Із залученням комплексу сучасних фізичних методів дослідження (рентгено-структурний аналіз, електронографія, електронна ожеспектроскопія, вторинно-іонна масспектрометрія, електронно-зондовий аналіз, електронна мікроскопія тощо) та комп’ютерного моделювання встановлені закономірності процесів термостимульованої реактивної дифузії при формуванні включень нових фаз в багатошарових тонкоплівкових наноструктурах. Досліджені процеси дифузійного формування фазового складу, структур-ноконцентраційних змін в багатошарових тонкоплівкових наноструктурах із залученням комплексу сучасних фізичних методів дослідження, таких як масспектрометрія вторинних іонів, електронна ожеспектроскопія, просвічуюча електронна мікроскопія поперечних зрізів, растрова електронна мікроскопія, резистометрія, рентгенофазовий аналіз тощо. Встановлений взаємозв’язок фазового, хімічного складу та структури з електрофізичними властивостями досліджених систем. Визначені загальні закономірності кінетики та механізмів масопереносу, зокрема, при інверсії матеріалів шарів та запропоновані моделі структурних та фазових перетворень з врахуванням впливу зовнішньої поверхні. Визначені механізми формування та самоорганізації поверхневих наноструктур в результаті розвитку твердотільних реакцій при підвищенні температури або тривалості відпалу. Запропоновані нові математичні моделі дифузійного формування включень нових фаз різної геометричної форми в пересичених твердих розчинах. Створено алгоритми та розроблено пакет прикладних комютерних програм для числової реалізації поставлених дифузійних задач; проведене моделювання концентраційних розподілень дифузанту та динаміки росту розміру включень нової фази; розраховано параметри масопереносу в тонкоплівкових системах. Одержані в роботі наукові результати і встановлені фізичні закономірності мають практичний інтерес для вдосконалення режимів створення потрібних структурно-фазових станів у тонкоплівкових технологіях електронної промисловості, а також в галузі нанотехнологій. Розв’язки дифузійних задач у новій постановці та результати комп’ютерного моделювання можуть бути рекомендовані для оптимізації технологічних процесів, зокрема, режимів термічної обробки жароміцних сплавів для підвищення рівня механічних характеристик. |
|
| Publisher |
Національний технічний університет України “Київський політехнічний інститут”
|
|
| Contributor |
Волошко С.
|
|
| Date |
2012-01-10T17:02:07Z
2012-01-10T17:02:07Z 2008 |
|
| Type |
Technical Report
|
|
| Identifier |
КВНТД 1.211.16.01
№ держреєстрації 0106U002153 Д/б №2906 Закономірності формування включень нових фаз на різних стадіях реактивної дифузії в тонкоплівкових наноструктурах : звіт з НДР (заключ.) / НТУУ "КПІ" ; кер. роб. С. Волошко. - 236 л. + CD-ROM. - Д/б №2906 http://library.kpi.ua:8080/handle/123456789/1362 |
|
| Language |
uk
|
|
| Rights |
Звіт захищений авторським правом. Переглянути його можливо з цього джерела з будь-якою метою, але копіювання та розповсюдження в будь-якому форматі забороняється без письмового дозволу.
|
|