Розробка нових функціональних електронних компонентів на основі твердотільних електромеханічних систем із швидкісним п'єзоелектричним управлінням
DSpace at NTB NTUU KPI
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Розробка нових функціональних електронних компонентів на основі твердотільних електромеханічних систем із швидкісним п'єзоелектричним управлінням
|
|
| Subject |
діелектрик
п'єзоелектрик нітрид алюмінія резонатор електромеханічні характеристики актюатор керування магнетронне реактивне розпилення |
|
| Description |
Об’єкт дослідження – технологія та характеристики актюаторів на основі твердотільних електромеханічних систем зі збудженням об’ємних резонансних механічних коливань. Мета роботи: розробка швидкодіючих високодобротних п’єзоелектричних актюаторів для фукціональних електронних компонентів систем телекомунікацій. Розробка призначена для відпрацювання конструкції та технології п’єзоелектричного актюатора, інтегрованого в керований діелектричний резонатор та фазообертач на основі мікрополоскової лінії і хвилеводної конструкції. Розроблений технологічний маршрут виготовлення тонкоплівкового нітриду алюмінія з п’єзоелектричними властивостями на підкладці з кремнія для реалізації металокерамічних актюаторів на основі метода магнетронного реактивного розпилення на постійному струмі. Проведені дослiдження способів включення резонансних елементів в iнтегральнi лiнiї передачi НВЧ. Відпрацьовано керування характеристиками резонансних елементiв у хвилеводі з частковим діелектричним заповненням та конструкція керованого діелектричного резонатора з вузьким повітряним зазором, величина якого змінюється за допомогою п’єзоактюатора. Запропоновані та проаналізовані конструкції композитних п’єзоелектричних актюаторів для отримання значних переміщень з високою швидкістю. Створені конструкції п’єзоприводів для мікрохвильових елементів мають менші розміри, ширший діапазон робочих частот та нижчу вартість за рахунок застосування стандартних мікроелектронних технологій та спрощення операцій настроювання. Отримані результати рекомендовано використовувати при розробці твердотільних резонаторів і актюаторів мікроелектромеханічних систем в сучасному приладобудуванні, особливо мікроелектронному, при мініатюризації електронних компонентів. |
|
| Publisher |
Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут"
|
|
| Contributor |
Якименко Ю.
|
|
| Date |
2012-01-24T13:16:04Z
2012-01-24T13:16:04Z 2008 |
|
| Type |
Technical Report
|
|
| Identifier |
КВНТД І.2 12.27.01
№ держреєстрації 0106U004068 Д/б №2963-п Розробка нових функціональних електронних компонентів на основі твердотільних електромеханічних систем із швидкісним п'єзоелектричним управлінням : звіт про НДР (заключ.) / НТУУ "КПІ" ; кер. роб. Ю. Якименко. - К., 2008. - 129 л. + CD-ROM. - Д/б №2963-п http://library.kpi.ua:8080/handle/123456789/1446 |
|
| Language |
uk
|
|
| Rights |
Звіт захищений авторським правом. Переглянути його можливо з цього джерела з будь-якою метою, але копіювання та розповсюдження в будь-якому форматі забороняється без письмового дозволу.
|
|