Контроль товщини тонких плівок еліпсометричним методом
DSpace at NTB NTUU KPI
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Контроль товщини тонких плівок еліпсометричним методом
Control the thickness of thin films by ellipsometrical method Контроль толщины тонких пленок элипсометрическим методом |
|
| Creator |
Юшко, А. В.
Зенкін, М. А. Yushko, A. V. Zenkin, M. A. |
|
| Subject |
621.326.7
|
|
| Publisher |
Київ
ВПІ НТУУ "КПІ" |
|
| Date |
2013-11-16T08:18:14Z
2013-11-16T08:18:14Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Format |
С. 88-91
|
|
| Identifier |
Юшко А. В. Контроль товщини тонких плівок еліпсометричним методом / А. В. Юшко, М. А. Зенкін // Технологія і техніка друкарства : збірник наукових праць. – 2010. – Вип. 4(30). – С. 88–91. – Бібліогр.: 3 назви.
http://ela.kpi.ua/handle/123456789/5707 |
|
| Source |
Технологія і техніка друкарства: збірник наукових праць
|
|
| Language |
uk
|
|