Розвиток та стан мікроелектромеханічних систем
DSpace at NTB NTUU KPI
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Розвиток та стан мікроелектромеханічних систем
Сondition and development of microelectromechanical systems Развитие и состояние микроэлектромеханических систем |
|
Creator |
Казаченко, Г. А.
Гераїмчук, М. Д. Kazachenko, G. A. Geraimchuk, M. D. Казаченко, Г. А. Гераимчук, М. Д. |
|
Subject |
681.586+531.76
|
|
Publisher |
Київ
НТУУ "КПІ" |
|
Date |
2014-12-03T17:31:09Z
2014-12-03T17:31:09Z 2008 |
|
Type |
Article
|
|
Format |
С. 135-142
|
|
Identifier |
Казаченко Г. А. Розвиток та стан мікроелектромеханічних систем / Казаченко Г. А., Гераїмчук М. Д. // Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування : збірник наукових праць. – 2008. – Вип. 35. – С. 135–142. – Бібліогр.: 14 назв.
http://ela.kpi.ua/handle/123456789/9617 |
|
Source |
Вісник НТУУ «КПІ». Приладобудування: збірник наукових праць
|
|
Language |
uk
|
|