Формування нанорозмірів структур мікроелектроніки
DSpace at NTB NTUU KPI
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Формування нанорозмірів структур мікроелектроніки
Formation of nano-sizes in microelectronics Формирование наноразмеров структур микроэлектроники |
|
| Creator |
Кисіль, О. С.
Kysil, O. S. Кисиль, О. С. |
|
| Subject |
йонне травлення
швидкість травлення ion etching etching speed ионное травление скорость травления 621.3.049.772 |
|
| Publisher |
Київ
НТУУ "КПІ" |
|
| Date |
2015-03-19T09:42:37Z
2015-03-19T09:42:37Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Format |
С. 149-153
|
|
| Identifier |
Кисіль, О. С. Формування нанорозмірів структур мікроелектроніки / О. С. Кисіль // Вісник НТУУ «КПІ». Радіотехніка, радіоапаратобудування : збірник наукових праць. – 2010. – № 40. – С. 149–153. – Бібліогр.: 3 назви.
http://ela.kpi.ua/handle/123456789/10999 |
|
| Source |
Вісник НТУУ «КПІ». Радіотехніка, радіоапаратобудування: збірник наукових праць
|
|
| Language |
uk
|
|