Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні
DSpace at NTB NTUU KPI
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні
|
|
| Creator |
Білокінь, Світлана Олександрівна
|
|
| Subject |
681.2:620.1 (043)
|
|
| Publisher |
Київ
Національний технічний університет України "Київський політехнічний інститут" |
|
| Date |
2015-11-05T09:45:37Z
2015-11-05T09:45:37Z 2014 |
|
| Type |
Other
|
|
| Format |
26 л.
|
|
| Identifier |
http://ela.kpi.ua/handle/123456789/13696
|
|
| Language |
uk
|
|