Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні
DSpace at NTB NTUU KPI
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні
|
|
| Creator |
Білокінь, Світлана Олександрівна
|
|
| Subject |
точність діагностування
кремнієвий зонд атомно-силова мікроскопія тонке покриття нанорельєф мікротвердість точность диагностирования кремниевый зонд атомно- силовая микроскопия тонкое покрытие нанорельеф микротвердость exactness of diagnosticating silicic probe atomic-force microscopy thin coverage nanorelief microhardness 681.2:620.1 (043) |
|
| Publisher |
Київ
|
|
| Contributor |
Бондаренко, Максим Олексійович
|
|
| Date |
2015-11-05T10:02:36Z
2015-11-05T10:02:36Z 2014 |
|
| Type |
Thesis Doctoral
|
|
| Format |
179 л.
|
|
| Identifier |
Білокінь С. О. Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних
характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні : дис. ... канд. техн. наук. : 05.11.13 – прилади і методи контролю та визначення складу речовин / С. О. Білокінь. - Черкаси, 2014. - 178 л. + CD-ROM
http://ela.kpi.ua/handle/123456789/13700 |
|
| Language |
uk
|
|
| Rights |
Дисертація захищена авторським правом. Переглянути її можливо з цього джерела з будь-якою метою, але копіювання та розповсюдження в будь-якому форматі забороняється без письмового дозволу.
|
|