Источники нетермической плазмы атмосферного давления и их применение
DSpace at NTB NTUU KPI
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Источники нетермической плазмы атмосферного давления и их применение
|
|
| Creator |
Чаплинский, Роман Юрьевич
|
|
| Subject |
газорозрядні джерела ННП
генерації озону нейтралізації чадного газу рідкокристалічні дисплеї наносферна літографія газоразрядные источники ННП атмосферное давление генерации озона нейтрализации угарного газа жидкокристаллические дисплеи наносферная литография nonthermal plasma generation of ozone monoxide neutralization liquid crystal display nanosphere lithography 537.523 |
|
| Publisher |
Киев
|
|
| Contributor |
Кузьмичѐв, Анатолий Иванович
|
|
| Date |
2015-11-19T14:01:43Z
2015-11-19T14:01:43Z 2015 |
|
| Type |
Thesis Doctoral
|
|
| Format |
195 л.
|
|
| Identifier |
Чаплинский Р. Ю. Источники нетермической плазмы атмосферного давления и их применение : дисс. ... канд. техн. наук. : 05.27.02 - вакуумная, плазменная и квантовая электроника / Р. Ю. Чаплинский. - К., 2015. - 195 л. + CD-ROM
http://ela.kpi.ua/handle/123456789/13908 |
|
| Language |
ru
|
|
| Rights |
Дисертація захищена авторським правом. Переглянути її можливо з цього джерела з будь-якою метою, але копіювання та розповсюдження в будь-якому форматі забороняється без письмового дозволу.
|
|