Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях
eKhNUIR
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях
|
|
| Creator |
Фаренік, В.І.
|
|
| Subject |
плазмові технології
мікроелектроніка іонні джерела масспектрометр |
|
| Description |
У цьому огляді наводяться результати наукових досліджень та прикладних розробок, виконаних у ХНУ імени В.Н. Каразіна НФТЦ МОН та НАН України з середини 70-х років до початку 90-х у галузі фізичних основ плазмових технологій для мікроелектроніки. В этом обзоре приводятся результаты научных исследований и прикладных разработок, выполненных в ХНУ имени В.Н. Каразина и НФТЦ МОН и НАН Украины с середины 70-х годов до начала 90-х в области физических основ плазменных технологий для микроэлектроники. In this review the findings of research investigations and applied developments made in both V.N. Karazin KNU and SCPT MES & NAS Ukraine from the end 70 up to the end 90 in the field of a basic physics of plasma technologies for micro- and nanoelectronics are presented. |
|
| Date |
2011-07-11T11:00:42Z
2011-07-11T11:00:42Z 2009 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Фаренік В.І. Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях / В.І. Фаренік // Фізична інженерія поверхні. – 2009. – Том 7, № 3. – С. 166 – 170.
УДК 539.23 http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/3852 |
|
| Language |
uk
|
|
| Publisher |
Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
|
|