Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)N и (Ti-Hf-Si)N, полученных из потоков металлической плазмы
eKhNUIR
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)N и (Ti-Hf-Si)N, полученных из потоков металлической плазмы
|
|
| Creator |
Береснев, В.М.
Погребняк, А.Д. Соболь, О.В. Грудницкий, В.В. Турбин, П.В. Колесников, Д.А. Толмачева, Г.Н. |
|
| Subject |
cепарированный поток металлической плазмы
парциальное давление потенциал смещения твердый раствор твердость |
|
| Description |
Приведены результаты экспериментальных исследований о влиянии физико-технологических параметров процесса осаждения на формирования покрытий (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N из сепарированного потока металлической плазмы. Для системы (Ti-Zr-Si)N выявлены кристаллиты (Zr, Ti)N твердого раствора на основе кубической решетки типа NaCl. Размер кристаллитов изменяется в исследуемом интервале рабочих давлений незначительно и находится в области 60 70 нм. Твердость полученных покрытий составила 37 ГПа. В случае системы (Ti-Hf-Si)N формируется наноструктурная фаза μ-TiN с квазиаморфными фазами -Si3N4 и HfSi2-nc. Максимальное значение твердости составляет Н = 42,7 7 Гпа. Наведено результати експериментальних досліджень про вплив фізико-технологічних пара- метрів процесу осадження на формування покриттів (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N з сепарованого потоку металевої плазми. Для системи (Ti-Zr-Si)N виявлені кристаліти (Zr, Ti) N твердого розчину на основі кубічної решітки типу NaCl. Розмір кристалітів змінюється у досліджуваному інтервалі робочих тисків незначно і перебуває в області 60 70 нм. Твердість отриманих покриттів складає 37ГПа. У випадку системи (Ti-Hf-Si)N формується наноструктурна фаза -TiN з квазіаморфнимі фазами -Si3N4 і HfSi2-nc. Максимальне значення твердості становить Н = 42,7 Гпа. The results of experimental studies on the impact of physical and technological parameters of the deposition process on the formation of coatings (Ti-Zr-Si)N; (Ti-Hf-Si)N from the stream of separated metal plasma. For the system (Ti-Zr-Si)N crystallites identified (Zr,Ti) N solid solution based on cubic lattice type of NaCl. The size of the crystallites varies in the range of operating pressures is insignificant and is in the range 60 70 nm. The hardness of the coatings was 37 GPa. In the case of the system (Ti-Hf-Si) N phase is formed nanostructed -TiN phase with quasi -Si3N4 and HfSi2-nc. The maximum hardness is H = 42,7 7 Gpa. |
|
| Date |
2011-07-12T07:57:09Z
2011-07-12T07:57:09Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Береснев В.М. Структура и свойства твердых покрытий систем (Ti-Zr-Si)N и (Ti-Hf-Si)N, полученных из потоков металлической плазмы / В.М. Береснев, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, В.В. Грудницкий, П.В. Турбин, Д.А. Колесников, Г.Н. Толмачева // Фізична інженерія поверхні. – 2010. – Том 8, № 2. – С. 124 - 129
УДК621.793 http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/3864 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна, Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
|
|