Запис Детальніше

Сверхвысокочастотный плазменный источник

eKhNUIR

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Сверхвысокочастотный плазменный источник
 
Creator Власов, В.В.
 
Subject plasma source
SHF oscillation generator
external spatially-inhomogeneous magnetic field
SHF electromagnetic field
electron cyclotron resonance
plasma density
плазменный источник
генератор сверхвысокочастотных колебаний
внешнее неоднородное магнитное поле
сверхвысокочастотное электромагнитное поле
электронный циклотронный резонанс
плотность плазмы
 
Description В работе представлена методика расчета параметров цилиндрического резонатора, используемого в СВЧ источнике плазмы в неоднородном магнитном поле в условиях электронного циклотронного резонанса. Приведены результаты изучения условий существования СВЧ разряда при давлении рабочего газа (воздух) порядка 10-5 мм рт.ст. Экспериментально показано, что с его помощью может создаваться плазма с максимальной плотностью частиц на выходе до 1010 см—3 и максимальной плотностью тока в плазменном потокe 600 мкА/см2.
The method of the calculation parameter cylindrical resonator is presented in the work, which is used in the SHF source of the plasma in inhomogeneous magnetic field at electronic cyclotron resonance. The results of the study of the conditions of existence SHF discharge at pressure worker gas (the air) of the order 10-5 torr is presented in the work too. It is shown, that with its help plasma with density at outlet to 1010 sm3, with the maximal density of currents in a plasma stream 600 мкА/sm2 is created.
 
Date 2011-10-28T08:36:41Z
2011-10-28T08:36:41Z
2007
 
Type Article
 
Identifier Власов В.В. Сверхвысокочастотный плазменный источник / В.В. Власов // Вiсник Харкiвського нацiонального унiверситету iм. В.Н. Каразiна. – 2007. – № 784. Сер.: Фізична. «Ядра, частинки, поля». – Вип. 4(36). – С. 121-124
http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/4916
 
Language ru
 
Publisher Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна