Запис Детальніше

Влияние диссоциации молекул газа на горение ВЧ разряда в аммиаке низкого давления

eKhNUIR

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Влияние диссоциации молекул газа на горение ВЧ разряда в аммиаке низкого давления
 
Creator Лисовский, В.А.
Lisovskiy, V.A.
 
Subject высокочастотный емкостный разряд
слаботочная мода горения разряда
диссоциация
аммиак
низкое давление
radiofrequency capacitive discharge
low-current mode of the discharge
dissociation
ammonia
low pressure
високочастотний ємнісний розряд
слабкострумова мода горіння розряду
дисоціація
аміак
низький тиск
 
Description Данная работа посвящена экспериментальному исследованию влияния процесса диссоциации молекул аммиака на горение ВЧ емкостного разряда. Показано, что для каждого давления аммиака имеется некоторое пороговое ВЧ напряжение, ниже которого степень диссоциации не превышает 3 %, а при более высоких ВЧ напряжениях степень диссоциации возрастает до 30 %. Повышение степени диссоциации NH3 ускоряет рост разрядного тока с ВЧ напряжением. ВЧ разряд как при низкой, так и при высокой степени диссоциации остается в слаботочной моде, т.к. все продукты диссоциации аммиака имеют более высокие потенциалы ионизации, чем NH3.
This work is devoted to the experimental study of the effect of the dissociation of ammonia on burning RF capacitive discharge. It is shown that for each ammonia pressure there is a certain threshold RF voltage below which the degree of dissociation is less than 3%, while at higher RF voltages dissociation degree increases up to 30%. Increased dissociation of NH3 accelerates the growth of discharge current with radiofrequency voltage. RF discharge at both low and high degree of dissociation is in the low-current mode, as all the dissociation products of ammonia have higher ionization potentials than NH3.
Ця робота присвячена експериментальному дослідженню впливу процесу дисоціації молекул аміаку на горіння ВЧ ємнісного розряду. Показано, що для кожного тиску аміаку є деяка порогова ВЧ напруга, нижче якої ступінь дисоціації не перевищує 3%, а при більш високих ВЧ напругах ступінь дисоціації зростає до 30%. Підвищення ступеня дисоціації NH3 прискорює зростання розрядного струму з ВЧ напругою. ВЧ розряд як при низькому, так і при високому ступені дисоціації залишається в слабкострумовій моді, тому що всі продукти дисоціації аміаку мають вищі потенціали іонізації, ніж NH3.
 
Date 2012-04-11T07:20:06Z
2012-04-11T07:20:06Z
2011
 
Type Article
 
Identifier Лисовский В.А. Влияние диссоциации молекул газа на горение ВЧ разряда в аммиаке низкого давления / В.А. Лисовский // Вiсник Харкiвського нацiонального унiверситету iм. В.Н. Каразiна. – 2011. – № 969. Сер.: Фізична. «Ядра, частинки, поля». – Вип. 3(51). – С. 46 – 53
http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/5674
 
Language ru
 
Publisher Харкiвський нацiональний унiверситет iм. В.Н. Каразiна. Kharkov National University named V.N. Karazin