Формування функціональних наноструктур на діелектричних поверхнях термічним випаровуванням у вакуумі
DSpace at NTB NTUU KPI
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Формування функціональних наноструктур на діелектричних поверхнях термічним випаровуванням у вакуумі
Forming of the functional nanostructures on dielectric surfaces by thermal evaporation in vacuum |
|
| Creator |
Антонюк, В. С.
Храпатий, С. В. Білокінь, С. О. Андрієнко, В. О. Antonjuk, V. Hrapatij, S. Bilokin, S. Andrienko, V. |
|
| Subject |
наноструктура
функціональне покриття діелектрична поверхня термовакуумне випаровування атомно-силова мікроскопія nanostructure functional coverage dielectric surface thermal and vacuum evaporation atomic-force microscopy функциональное покрытие диэлектрическая поверхность термовакуумное испарение атомно-силовая микроскопия 537.9 |
|
| Publisher |
Київ
НТУУ "КПІ" |
|
| Date |
2016-05-16T13:14:13Z
2016-05-16T13:14:13Z 2014 |
|
| Type |
Article
|
|
| Format |
С. 31-35
|
|
| Identifier |
Формування функціональних наноструктур на діелектричних поверхнях термічним випаровуванням у вакуумі / Антонюк В. С., Храпатий С. В., Білокінь С. О., Андрієнко В. О. // Вісник НТУУ «КПІ». Машинобудування : збірник наукових праць. – 2014. – № 1(70). – С. 31–35. – Бібліогр.: 9 назв.
http://ela.kpi.ua/handle/123456789/15719 |
|
| Source |
Вісник НТУУ «КПІ». Машинобудування: збірник наукових праць
|
|
| Language |
uk
|
|