Aluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputtering
DSpace at NTB NTUU KPI
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Aluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputtering
Діелектричні плівки оксинітриду алюмінію отримані реактивним розпиленням Диэлектрические пленки оксинитрида алюминия полученные реактивным распылением |
|
| Creator |
Borisova, A.
Machulyansky, A. Rodionov, M. Smilyk, V. Yakimenko, Y. Борисова, Олександра Володимирівна Мачулянський, О. В. Родіонов, М. К. Смілик, В. Якименко, Ю. І. Борисова, Александра Владимировна Мачулянский, А. В. Родионов, М. К. Смилык, В. Якименко, Ю. И. |
|
| Subject |
плівки оксинітриду алюмінію
магнетроне реактивне розпилення електрична міцність хімічна стійкість термічна стабільність aluminum oxynitride film magnetron reactive sputtering dielectric strength chemical resistance thermal stability пленки оксинитрида алюминия магнетронное реактивное распыление электрическая прочность химическая устойчивость термическая стабильность 621.318 |
|
| Publisher |
Київ
НТУУ «КПІ» |
|
| Date |
2016-09-14T15:44:05Z
2016-09-14T15:44:05Z 2015 |
|
| Type |
Article
|
|
| Format |
C. 31-36
|
|
| Identifier |
Aluminum oxynitride dielectric films prepared by reactive sputtering / A. Borisova, A. Machulyansky, M. Rodionov, V. Smilyk, Y. Yakimenko // Електроніка та зв'язок : науково-технічний журнал. – 2015. – Т. 20, № 3(86). – С. 31–36. – Бібліогр.: 13 назв.
http://ela.kpi.ua/handle/123456789/17562 |
|
| Source |
Електроніка та зв'язок : науково-технічний журнал
|
|
| Language |
en
|
|