Розробка та дослідження газорозрядного обладнання для імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження наноструктурованих покриттів
DSpace at NTB NTUU KPI
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Розробка та дослідження газорозрядного обладнання для імпульсного електронно-променевого випаровування та іонно-плазмового осадження наноструктурованих покриттів
Elaboration and investigation of gas discharge equipment for electron impulse beam evaporation and ion-plasma deposition of nanostructurized coatings Разработка и исследование газоразрядного оборудования для импульсного электронно-лучевого испарения и ионно-плазменного осаждения наноструктурированных покрытий |
|
| Subject |
іонно-плазмове осадження покриттів
|
|
| Publisher |
Київ
НТУУ «КПІ» |
|
| Contributor |
Денбновецький, С. В.
Denbnovetskiy, S. V. Денбновецкий, С. В. |
|
| Date |
2017-02-02T09:12:22Z
2017-02-02T09:12:22Z 2013 |
|
| Type |
Technical Report
|
|
| Format |
5 с.
|
|
| Identifier |
2529-п
0112U000894 http://ela.kpi.ua/handle/123456789/18691 |
|
| Language |
uk
|
|