Конструктивні особливості вакуумних мікропічок для осадження тонких плівок і наноструктур
DSpace at Ternopil State Ivan Puluj Technical University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Конструктивні особливості вакуумних мікропічок для осадження тонких плівок і наноструктур
|
|
| Creator |
Яворський, Ярослав
Яворський, Ростислав |
|
| Contributor |
Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника, м. Івано-Франківськ, Україна
|
|
| Subject |
621.315.529
|
|
| Date |
2016-01-27T23:31:11Z
2016-01-27T23:31:11Z 2012-09-20 2012-09-20 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Яворський Я. Конструктивні особливості вакуумних мікропічок для осадження тонких плівок і наноструктур / Ярослав Яворський, Ростислав Яворський // Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“, 20-22 вересня 2012 року — Т. : ТНТУ, 2012 — С. 30-32.
http://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/7948 Iavorskii Ia., Iavorskii R. (2012) Konstruktyvni osoblyvosti vakuumnykh mikropichok dlia osadzhennia tonkykh plivok i nanostruktur. Materialy vseukrainskoi naukovoi konferentsii "Aktualni problemy teoretychnoi, eksperymentalnoi ta prykladnoi fizyky" (Tern., 20-22 September 2012), pp. 30-32 [in Ukrainian]. |
|
| Language |
uk
|
|
| Relation |
Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012
|
|
| Rights |
© Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя, 2012 р.
|
|
| Format |
30-32
|
|
| Coverage |
20-22 вересня 2012 року
20-22 September 2012 Україна, Тернопіль Ukraine, Ternopil |
|
| Publisher |
ТНТУ
TNTU |
|