Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенні
DSpace at Ternopil State Ivan Puluj Technical University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенні
|
|
| Creator |
Коровицький, А. М.
Колядинський, І. М. Сахарчук, В. В. Мирончук, Г. Л. |
|
| Contributor |
Луцький національний технічний університет,
Волинський національний університет ім. Лесі Українки, м. Луцьк, Україна |
|
| Subject |
541.55
|
|
| Date |
2016-01-27T23:44:44Z
2016-01-27T23:44:44Z 2012-09-20 2012-09-20 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Оптимізація технології отримання стабільного плазмового розряду у вакуумній камері ВУП5М при магнетронному розпорошенні / А. М. Коровицький, І. М. Колядинський, В. В. Сахарчук, Г. Л. Мирончук // Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“, 20-22 вересня 2012 року — Т. : ТНТУ, 2012 — С. 177-179.
http://elartu.tntu.edu.ua/handle/123456789/8017 Korovytskyi A. M., Koliadynskyi I. M., Sakharchuk V. V., Myronchuk H. L. (2012) Optymizatsiia tekhnolohii otrymannia stabilnoho plazmovoho rozriadu u vakuumnii kameri VUP5M pry mahnetronnomu rozporoshenni. Materialy vseukrainskoi naukovoi konferentsii "Aktualni problemy teoretychnoi, eksperymentalnoi ta prykladnoi fizyky" (Tern., 20-22 September 2012), pp. 177-179 [in Ukrainian]. |
|
| Language |
uk
|
|
| Relation |
Матеріали всеукраїнської наукової конференції „Актуальні проблеми теоретичної, експериментальної та прикладної фізики“ АПТЕПФ 2012
http://www.horiba.com/uploads/media/RE05-08-044-600.pdf 1. Б.С. Данилин, В.К. Сырчин, Магнетронные распылительные системы (Радио и связь, Москва, 1982), 72 с. 2. Miyoshi Kimura / – Режим доступу: http://www.horiba.com/uploads/media/RE05-08-044-600.pdf 3. Режим доступу: www.int-24.com 1. B.S. Danilin, V.K. Syrchin, Mahnetronnye raspylitelnye sistemy (Radio i sviaz, Moskva, 1982), 72 p. 2. Miyoshi Kimura, Access mode: http://www.horiba.com/uploads/media/RE05-08-044-600.pdf 3. Access mode: www.int-24.com |
|
| Rights |
© Тернопільський національний технічний університет імені Івана Пулюя, 2012 р.
|
|
| Format |
177-179
|
|
| Coverage |
20-22 вересня 2012 року
20-22 September 2012 Україна, Тернопіль Ukraine, Ternopil |
|
| Publisher |
ТНТУ
TNTU |
|