Плазмові технології в нанолітографії
eKhNUIR
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Плазмові технології в нанолітографії
|
|
| Creator |
Гречко, Я.О.
|
|
| Description |
Теза доповіді студентської наукової роботи
|
|
| Date |
2017-03-30T08:53:41Z
2017-03-30T08:53:41Z 2016 |
|
| Identifier |
Студентська наукова конференція з прикладної фізики „Актуальні проблеми сучасної фізики”: Тези. – Х.: ХНУ імені В.Н. Каразіна, 2016. - 15с.
http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/12631 |
|
| Language |
uk
|
|
| Publisher |
ХНУ імені В.Н.Каразіна
|
|